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            徐工道金

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            類金剛石鍍膜設備
            技術亮點: 加工效率高:沉積速率最高可達1μm/h,為磁過濾電弧技術的5倍 沉積溫度低:可室溫沉積,適用于橡膠、尼龍、塑料等耐溫性不高的非金屬材料 薄膜光潔度高:從源頭消除傳統技術易存在的大顆粒污染,制備薄膜的粗糙度低 綠色環保:加工過程中無任何固、液廢排放,環境友好,可替代電鍍
            序號
            技術指標
            參數
            1

            技術亮點:

            • 加工效率高:沉積速率最高可達1μm/h,為磁過濾電弧技術的5倍
            • 沉積溫度低:可室溫沉積,適用于橡膠、尼龍、塑料等耐溫性不高的非金屬材料
            • 薄膜光潔度高:從源頭消除傳統技術易存在的大顆粒污染,制備薄膜的粗糙度低
            • 綠色環保:加工過程中無任何固、液廢排放,環境友好,可替代電鍍

            序號

            技術指標

            參數

            1

            可安裝靶材數量

            配置6個通用接口,可按需配置平面靶及離子源數量

            2

            有效鍍膜區

            Φ(500~800mm)ÍH(400~1000mm)

            3

            轉盤承重

            400~1200KG

            4

            最大加熱溫度

            450℃

            5

            鍍膜周期

            1-10h/爐

            6

            技術特點

            高能脈沖電弧、非平衡磁控濺射、寬縫離子源

            7

            應用范圍

            TiN、CrN等陶瓷涂層,DLC類金剛石涂層

            8

            設備功率

            按需定制60~120KW

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